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PECVD系統(tǒng)應用的說明
日期：2026-03-10 13:24
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摘要：
PECVD主要是對半導體材料硅的濺射。
1. 廣泛應用于MEMS、先進封裝、功率半導體、LED制造、RF集成電路等領域
2. 放射方式對稱工藝氣體顯著提高晶圓片內均勻性（WIW）
3. 多達10路氣體管路，可選on-board液體輸送系統(tǒng)
3. 多達10路氣體管路，可選on-board液體輸送系統(tǒng)
4. 復合頻率等離子體能力調節(jié)應力
5. 有源冷卻平臺應用在關鍵，低溫[小于175°C]封裝工藝
6. 可選敏感的de-gassing襯底材料增加單/多晶圓預加熱腔室
