真空感應(yīng)懸浮熔煉爐是將分瓣水冷銅坩堝置于強大的交變磁場中，利用感應(yīng)渦流加熱水冷銅坩堝中的金屬使其融化，依靠電磁力使熔融金屬與水冷銅坩堝不產(chǎn)生密切接觸。這樣就避免了坩堝對需要熔煉材料的污染，從而能夠熔煉出高純度的金屬材料。通過精練后在水冷銅坩堝內(nèi)的液態(tài)合金也可以通過旋轉(zhuǎn)澆注入錠模中，可以得到組織致密的合金錠。真空懸浮熔煉爐適用于鈦鋯、稀土材料等活性金屬的熔煉，鈦鋁合金的熔煉與精密鑄造。主要應(yīng)用于生產(chǎn)高純金屬材料、半導(dǎo)體單晶材料、高熔點合金和3D打印等行業(yè)。

技術(shù)參數(shù)：

真空感應(yīng)熔煉爐	型號		CYKY-IMC-500
	ZUI大熔煉重量（按鈦液計算）		500g
	ZUI高加熱溫度		2200
	懸浮電源	ZUI大輸入功率	90KW
		ZUI大輸出功率	81KW
		采用電源	IGBT懸浮專用電源
		振蕩頻率	15-30KHZ（頻率自動跟蹤）
		冷卻水要求	電源≥0.2MPa              坩堝 ≥0.35MPa
		感應(yīng)線圈	懸浮爐專用線圈
		輸入電壓	三相380V   50 HZ
		融化速率	10~15min
		坩堝	懸浮專用水冷銅坩堝
		坩堝內(nèi)尺寸	Dia50X60mm
	腔體內(nèi)尺寸		Dia700X800
	腔體真空度		< 5X10 -3Pa
	坩堝可傾倒旋轉(zhuǎn)角度		0-360度 （可任意角度偏轉(zhuǎn)）
	真空腔體內(nèi)是否可接水冷坩堝		可以
	觀察窗尺寸		Dia 90mm
真空機組	機組輸入電壓		380V /220V
	波紋管		KF40X1000
	真空擋板閥		KF40
	分子泵 （方案一）		分子泵型號	FF200/1200
			輸入電壓	220V
			分子泵進(jìn)氣口法蘭	DN200
			分子泵抽氣速率L/S（對空氣）	1200
			分子泵極限壓強（Pa)	6×10-7
			冷卻方式	水冷
			冷卻水壓（MPa）	0.1-0.2
			冷卻水溫度	<25℃
			環(huán)境溫度	0~40℃
			建議啟動壓強	<100Pa
	前機真空泵TRP-24		功率	1.5KW
			電壓	220V
			轉(zhuǎn)速	1390rpm
			進(jìn)氣口徑	KF25/KF40
			前機泵抽氣速率（L/S）	18
			極限壓強	6X10 -2Pa
	擴散泵TK150		電壓	220V
			功率	1500W
			極限真空度（在無泄露時）	10E-5
			進(jìn)氣接口	DN150
			出氣接口	DN40
			注入油量	0.3L
			抽氣速率（N2）	1500L/S
	復(fù)合真空計		復(fù)合真空計型號	ZDF
			電源	220V   55W
			控制精度	± 1%
			真空計測量范圍	10-5 -10 5 Pa